复合材料的微机电装置与其制作方法

摘要

复合材料的微机电装置，包括一振动单元、一第一材料以及一第二材料。振动单元用以沿一第一轴向来回振动，其中振动单元包括一刚性元件。刚性元件包括一第一表面、一第二表面以及连接第一表面与第二表面的一第三表面，其中第一表面面向第一轴向的一第一方向，第二表面面向第一轴向相反于第一方向的一第二方向。第一材料设置于第一表面与第二表面上。第二材料为导电材料且设置于第一材料上并延伸至刚性元件，使第二材料电性连接到刚性元件。另揭露一种复合材料的微机电装置之制作方法。

主权项

一种复合材料的微机电装置，包括：一振动单元，用以沿一第一轴向来回振动，其中该振动单元包括：一刚性元件，包括一第一表面、一第二表面以及一第三表面，其中该第一表面面向该第一轴向的一第一方向，该第二表面面向该第一轴向的一第二方向，其中该第一方向相反于该第二方向，该第三表面连接该第一表面与该第二表面；一第一材料，设置于该刚性元件的该第一表面与该第二表面上；以及一第二材料，为导电材料且设置于该第一材料上并延伸至该刚性元件，使该第二材料电性连接至该刚性元件，其中，温度变化时，该第一材料之杨氏系数变化方向与该刚性元件之杨氏系数变化方向相反。