发明名称 |
用以于平坦传导表面形成氧化物层之技术 |
摘要 |
以于平坦传导表面上电化形成氧化物层之方法及装置系涉及以相对于一辅助电极的一平坦传导表面呈相对平行的分开分布关系来定位一支承该平坦传导表面之工作电极,使得工作电极的平坦传导表面及辅助电极的平坦传导表面被概括相对地、水平地定向,并界定其间之一空间。含有用于在工作电极的平坦传导表面上形成氧化物层的化学物之一容积的有机电解质溶液系配置为淹没辅助电极的平坦传导表面并占据工作电极的平坦传导表面及辅助电极的平坦传导表面之间所界定的空间,使得至少辅助电极的平坦传导表面接触于有机电解质溶液,且实质只有工作电极的平坦传导表面接触于有机电解质溶液。有机电解质溶液中,一电流于实质只有该辅助电极的平坦传导表面及实质只有该工作电极的平坦传导表面之间流动一段时间期间,且系以足以造成化学物在工作电极的平坦传导表面上形成氧化物层的一强度为之。 |
申请公布号 |
TWI523089 |
申请公布日期 |
2016.02.21 |
申请号 |
TW100132619 |
申请日期 |
2011.09.09 |
申请人 |
克里尔金属股份有限公司 |
发明人 |
鲁宾 雷尼德B;奥斯朋夫 亚历山大S;尼布区洛瓦 伊雷纳B |
分类号 |
H01L21/304(2006.01);H01L31/042(2014.01) |
主分类号 |
H01L21/304(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
恽轶群;陈文郎 |
主权项 |
一种用以于平坦传导表面上电化形成氧化物层之方法,该方法系包含下列步骤:以相对于一辅助电极的一平坦传导表面呈相对平行的分开分布关系来定位一支承该平坦传导表面之工作电极,使得该工作电极的平坦传导表面及该辅助电极的平坦传导表面系大致相对地、水平地定向并界定其间之一空间;造成含有用以于该工作电极的平坦传导表面上形成该氧化物层的化学物之一容积的有机电解质溶液,淹没该辅助电极表面的平坦传导表面,并占据该工作电极的平坦传导表面与该辅助电极的平坦传导表面之间所界定的该空间,使得至少该辅助电极的平坦传导表面接触于该有机电解质溶液,且实质只有该工作电极的平坦传导表面接触于该有机电解质溶液;及造成一电流在该有机电解质溶液中,于实质只有该辅助电极的平坦传导表面及实质只有该工作电极的平坦传导表面之间流动一段时间,且系以足以造成该等化学物在该工作电极的平坦传导表面上形成该氧化物层的一强度为之。
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地址 |
加拿大 |