一种制备区熔单晶的凸台线圈

摘要

本实用新型提供一种制备区熔单晶的凸台线圈，包括线圈、冷却水管和吹气气路，所述冷却水管嵌入所述线圈的骨架内，所述线圈为中心带有线圈眼的圆环形结构，上表面设置有一个向所述线圈内部凹陷的环状台阶，所述台阶上为平面，且设有一环状凸台，所述台阶底部一端与所述线圈内圆上边沿连接成向下倾斜的斜面，所述线圈下表面为向线圈中心上方倾斜的斜面，所述吹气气路从外侧水平穿入，经过所述线圈的下半部分，从其下表面穿出。本实用新型的有益效果是：本线圈可以提供一个稳定均匀的生长热场，使熔硅下行顺畅、成晶率和设备稼动率高，避免多晶硅料边缘长刺、熔区凝固、熔区出腰带等情况发生。

主权项

一种制备区熔单晶的凸台线圈，其特征在于：包括线圈(1)，所述线圈(1)为中心带有线圈眼(11)的圆环形结构，上表面设置有一个向所述线圈(1)内部凹陷的环状台阶，所述台阶上为环形平面，所述平面上设有一同心的环状凸台(13)，所述台阶底部一端与所述线圈(1)内圆上边沿连接成向下倾斜的斜面，所述线圈(1)下表面为向线圈中心上方倾斜的斜面。