ROBOT AND ADAPTIVE PLACEMENT SYSTEM AND METHOD

摘要

구동기; 가동 아암 조립체; 엔드 이펙터들의 복수개의 세트들; 및 컨트롤러를 포함하는 장치. 상기 엔드 이펙터들은 상기 가동 아암 조립체에 의하여 상기 구동기에 연결된다. 상기 엔드 이펙터들의 세트들 중 제1 세트는 상기 엔드 이펙터들 중의 적어도 2개를 포함하며, 상기 구동기와 상기 가동 아암 조립체는 상기 적어도 2개의 엔드 이펙터들을 실질적으로 일제히(substantially in unison) 수축 위치로부터, 2개의 상이한 개별의 표적 위치들을 향하는 신장 위치(extended position)를 향하여 움직이도록 구성된다. 상기 적어도 2개의 엔드 이펙터들은 상기 가동 아암 조립체 상에서 서로에 대하여 적어도 부분적으로 독립적으로 움직일 수 있다. 상기 컨트롤러는 상기 적어도 2개의 엔드 이펙터들 상의 개별의 기판들의 오프셋(offset)을 검출하고 상기 기판들이 상기 개별의 표적 위치들에 배치되기 전에 상기 적어도 2개의 엔드 이펙터들의 서로에 대한 움직임을 조절하도록 구성된다.