| 摘要 |
본 발명은 테스터 및 이를 구비한 반도체 디바이스 검사 장치를 개시한 것으로서, 테스터 헤드의 베이스에 제공된 수평 유지 유닛이 프로브 카드의 상부에 아래 방향으로 하중을 가하여 프로브 카드를 수평 상태로 유지시키는 것을 특징으로 가진다. 이러한 특징에 의하면, 프로브 카드의 휨을 방지하여 프로브 카드의 탐침자들과 반도체 디바이스의 전극 단자들 사이에 접촉이 안정적으로 이루어질 수 있도록 함으로써, 반도체 디바이스의 전기적 특성 검사의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. |
