DIFFRACTION ELEMENTS FOR ALIGNMENT TARGETS

摘要

복수의 회절 요소들로부터 형성되는 정렬 피처들을 갖는 정렬 타겟들을 포함하는 패터닝 디바이스가 제공되며, 각각의 회절 요소는 업소버 스택 및 다층 리플렉터 스택을 포함한다. 회절 요소들은 사전-정렬에 이용되는 사전-결정된 회절 차수를 개선시키고 사전-정렬에 이용되는 파장의 광으로 조명되는 경우 사전-정렬 시스템의 사전-결정된 방향으로 광을 회절시키도록 구성된다. 회절 요소들은 각각의 정렬 피처 영역의 적어도 절반을 차지할 수 있다. 회절 요소들은 1 또는 보다 높은 차수의 회절들을 개선하는 한편, 레티클 사전정렬에 이용되는 파장으로 조명되는 경우 0 회절 차수 및 스펙트럼 반사를 실질적으로 저감시키도록 구성될 수 있다. 각각의 회절 요소의 치수들은 각각의 정렬 피처의 회절 격자 주기의 함수일 수 있다.