主权项 |
一种直立式捡片机,包含: 一直立多层架,具有复数个输送层、一封装层、及一直立运输通道,该复数个输送层与该封装层系沿一直立方向而为堆叠地设置,各个该输送层的前侧具有一卡匣放置区,用以放置一晶圆卡匣,该封装层的前侧具有一封装卡匣放置区,用以放置一晶圆封装卡匣,该直立运输通道沿该直立方向而贯穿设置于该复数个输送层的后侧以及该封装层的后侧,而使该复数个输送层与该封装层相连通; 一位移机构,包括一垂直位移构件及一设置在该垂直位移构件上的水平位移构件,该垂直位移构件延伸设置于该直立运输通道中,使该水平位移构件藉由该垂直位移构件而在该复数个输送层及该封装层之间沿该直立方向位移;以及 一机械手臂,设置在该水平位移构件上,而藉由该水平位移构件在各个该输送层及该封装层中沿前后方向水平位移,该机械手臂具有复数个取晶构件,该复数个取晶构件沿一预定的晶圆叠置方向且以一预定的晶圆叠置间隔而并列设置,以自选定的该卡匣放置区的该晶圆卡匣中一并取出复数个晶圆,并依序以选定的该输送层中的水平位移距离、选定的该输送层与该封装层之间沿该直立方向位移距离、以及该封装层中的水平位移距离,而将该复数个晶圆一并置入该封装卡匣放置区的该晶圆封装卡匣。 |