| 摘要 |
1. РЧ МЭМС варактор с электростатической активацией, содержащий подложку, отличающийся тем, что на подложку нанесен нижний слой меди; покрытый диэлектрическим слоем управляющий электрод, на который подается напряжение активации; медный кантилевер, изгибаемый под действием приложенного постоянного напряжения и таким образом меняющий свою емкость; воздушный зазор расположен между кантилевером и диэлектрическим слоем.2. РЧ МЭМС варактор с электростатической активацией по п. 1, отличающийся тем, что размеры подвижных элементов конструкции и конструкционные особенности обуславливают низкое энергопотребление. |
