发明名称 |
一种定位机械手上晶片圆心的方法 |
摘要 |
本发明公开了一种定位机械手上晶片圆心的方法,包括:机械手(1)、控制器(2)、编码器(3)、传感器1(4)、传感器2(5)、传感器3(6)、传感器4(7)、晶片(8),其中传感器4(7)是备用的。机械手(1)用来传送晶片(8),控制器(2)通过编码器(3)采集到的编码,来控制和调节机械手取送晶片(8)的方向和距离,机械手(1)取到晶片(8)后,那么传感器1(4)、传感器2(5)和传感器3(6)就会检测机械手上晶片的3个位置编码,然后把这3个位置编码传递给控制器(2),控制器(2)通过一系列运算,最终定位出晶片(8)的圆心。 |
申请公布号 |
CN103094162B |
申请公布日期 |
2016.02.10 |
申请号 |
CN201110347036.3 |
申请日期 |
2011.11.07 |
申请人 |
北京中科信电子装备有限公司 |
发明人 |
杨亚兵;蔡先武 |
分类号 |
H01L21/677(2006.01)I;B25J9/08(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/677(2006.01)I |
代理机构 |
长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 |
代理人 |
马强 |
主权项 |
一种定位机械手上晶片圆心的方法,包括:机械手(1)、控制器(2)、编码器(3)、传感器1(4)、传感器2(5)、传感器3(6)、传感器4(7)、晶片(8),其中传感器4(7)是备用的,其特征在于:机械手(1)用来传送晶片(8),控制器(2)通过编码器(3)采集到的编码,来控制和调节机械手取送晶片(8)的方向和距离,机械手(1)取到晶片(8)后,那么传感器1(4)、传感器2(5)和传感器3(6)就会检测机械手上晶片的3个位置编码,然后把这3个位置编码传递给控制器(2),控制器(2)通过一系列运算,最终定位出晶片(8)的圆心;设置了一个以晶片在机械手上的理论位置计算出的晶片圆心的理论位置,以该晶片圆心的理论位置为圆心画一个半径为1厘米的圆作为圆心的安全范围,实际传输过程中,如果计算到的圆心位置在这个圆内,那么是安全的,如果不在这个圆内,那么就会报警提示,不会向下执行其他动作。 |
地址 |
101111 北京市中关村科技园通州园光机电一体化产业基地兴光二街6号 |