硅片推顶机构

摘要

本发明公开了一种硅片推顶机构，包括：基座、驱动机构、导向机构、连接板以及推顶销，所述驱动机构固定于所述基座上，所述推顶销和导向机构固定在所述连接板上，并且，所述硅推顶机构还包括柔性吸盘，所述柔性吸盘设置于所述推顶销的顶部并与所述推顶销相连，所述柔性吸盘的内侧连接高度低于所述推顶销的顶面高度。本发明在推顶销的顶部增设了柔性吸盘，柔性吸盘相对于现有技术中采用的非金属材料刚性较为柔软，能够紧密贴合翘曲片和超薄片，使真空不泄露，保证了硅片的有效吸附。

主权项

一种硅片推顶机构，包括：基座、驱动机构、导向机构、连接板以及推顶销，所述驱动机构固定于所述基座上，所述推顶销和导向机构固定在所述连接板上，其特征在于，还包括柔性吸盘，所述柔性吸盘设置于所述推顶销的顶部并与所述推顶销相连，所述柔性吸盘的内侧连接高度低于所述推顶销的顶面高度；所述硅片推顶机构中设有真空通孔，所述真空通孔依次穿过所述基座、导向机构、连接板以及推顶销直至所述柔性吸盘的底部。