| 发明名称 |
膜吸附机构 |
| 摘要 |
供的是一种膜吸附机构，其可防止膜状构件卷曲或下垂，以达到膜状构件的可靠吸附、交接等。本发明的膜吸附机构是一种用于加工或搬运可挠性膜状构件的膜吸附机构。膜吸附机构包括：具有藉由吸附将膜状构件附接于其上的功能的吸附单元；以及具有将加压空气吹到膜状构件的第一表面上的功能的空气喷嘴。吸附单元具有多个吸盘。吸附单元能够在加压空气被吹到膜状构件的第一表面上的同时，藉由吸附将膜状构件的第二表面附接于其上。
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| 申请公布号 |
TW201603973 |
申请公布日期 |
2016.02.01 |
| 申请号 |
TW104113699 |
申请日期 |
2015.04.29 |
| 申请人 |
半导体能源研究所股份有限公司 |
发明人 |
熊仓佳代;井户尻悟;大野正胜;武岛幸市;平形吉晴;横山浩平 |
| 分类号 |
B25J11/00(2006.01);B25J15/06(2006.01) |
主分类号 |
B25J11/00(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
林志刚 |
| 主权项 |
一种设备，包括：用于保持具有第一表面和第二表面的可挠性膜的膜吸附机构，该膜吸附机构包括：吸附单元，具有多个吸盘；以及空气喷嘴，配置来将空气吹到该可挠性膜上，其中，在该空气被吹到该第一表面上的同时，该吸附单元系配置为藉由吸附将该第二表面附接于其上。
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| 地址 |
日本 |
