| 发明名称 | 一种研究表面的多步方法及其对应设备 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种确定表面性质的多步方法，包括以下步骤：确定将要被研究的表面(10)的至少一个区域的至少一个表面形貌性质；确定将要被研究的表面(10)的至少该区域的光学性质，并且发出表征所述光学性质的至少一个值。根据本发明，当确定表征所述光学性质的所述至少一个值时，考虑所述区域的所述表面形貌性质。 | ||
| 申请公布号 | CN105277558A | 申请公布日期 | 2016.01.27 |
| 申请号 | CN201510352841.3 | 申请日期 | 2015.06.24 |
| 申请人 | 毕克-加特纳有限责任公司 | 发明人 | 克里斯多佛·格罗 |
| 分类号 | G01N21/84(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/84(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 | 代理人 | 高占元 |
| 主权项 | 一种确定表面性质的多步方法，包括以下步骤：确定将要被研究的表面(10)的至少一个区域的至少一个表面形貌性质；确定将要被研究的表面(10)的至少该区域的光学性质，并且发出表征所述光学性质的至少一个值；其特征在于，当确定表征所述光学性质的所述至少一个值时，考虑所述区域的所述表面形貌性质。 | ||
| 地址 | 德国盖雷茨里德82538劳齐茨大街8号 | ||