| 摘要 |
본 발명의 과제는 소자를 효율적으로 제조하는 소자 제조 방법 및 소자 제조 장치를 제공하는 것이다. 본 발명은, 연속적으로 연장되는 기재(基材) 상에 소자를 형성하기 위한 소자 제조 방법으로서, 상기 기재와, 상기 기재의 법선 방향으로 연장되는 돌기부를 포함하는 중간 제품을 준비하는 공정과, 적층실에 있어서, 상기 중간 제품에, 상기 돌기부측으로부터 덮개재를 연속적으로 적층해서 적층체를 형성하는 적층 공정과, 상기 적층체를, 상기 적층실로부터, 상기 적층실에 연결되고 상기 적층실에 있어서의 압력보다도 높은 제1 압력으로 조정된 제1 압력실로 반송하는 공정을 구비하며, 상기 적층체가 반송되는 방향에 직교하는 면에 의해 상기 적층체를 가상적으로 절단한 경우의 적층체의 단면에 있어서, 상기 중간 제품과 상기 덮개재 사이의 공간이 주위로부터 밀폐되어 있는, 소자 제조 방법에 관한 것이다. |
