发明名称 一种阴极镀膜工装
摘要 一种阴极镀膜工装,其特征在于:包括基座和底盘,所述基座为带有底盘安装孔的筒形结构,所述底盘为倒凸台形结构,所述底盘安装在所述底盘安装孔中,底盘上开设有多个与镀膜阴极尺寸对应的通孔。本实用新型既能保障阴极镀膜的质量,又因为具有很大的通用性,大大降低更换工装和加工工装的成本,间接的为企业带来经济效益。
申请公布号 CN204999968U 申请公布日期 2016.01.27
申请号 CN201520550734.7 申请日期 2015.07.28
申请人 安徽华东光电技术研究所 发明人 邓清东;宋田英;贺兆昌;张丽
分类号 C23C14/50(2006.01)I 主分类号 C23C14/50(2006.01)I
代理机构 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人 董建林
主权项  一种阴极镀膜工装,其特征在于:包括基座和底盘,所述基座为带有底盘安装孔的筒形结构,所述底盘为倒凸台形结构,所述底盘安装在所述底盘安装孔中,所述底盘上开设有多个与镀膜阴极尺寸对应的通孔。
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