METHOD FOR MANUFACTURING SOLAR-POWER-GENERATOR SUBSTRATE AND APPARATUS FOR MANUFACTURING SOLAR-POWER-GENERATOR SUBSTRATE

摘要

반도체 잉곳을 슬라이스하여 반도체 기판을 절단한 후에 상기 반도체 기판의 표면에 표면 처리를 실시하여 텍스쳐 구조를 형성하는 태양광 발전 장치용 기판의 제조 방법으로서, 상기 반도체 기판의 표면에 부착된 유기 불순물과 금속 불순물을 산화성 약제를 포함하는 세정액에 의해 세정 제거하는 세정 공정과, 상기 세정 공정 후에 연속해서 행해지고, 상기 반도체 기판의 표면을 알칼리성 수용액에 의해 이방성 에칭하는 것에 의해, 상기 슬라이스에 의해 생긴 기판 표면의 데미지층을 제거함과 아울러 상기 반도체 기판의 표면에 상기 텍스쳐 구조를 형성하는 에칭 공정을 포함한다.