用于处理晶圆和裸片的方法

摘要

本发明涉及一种用于对晶圆或裸片上的面进行处理的方法，包括下述步骤：a）提供晶圆或裸片，b）将晶圆或裸片放置在底座上，c）围绕待清洁的面提供用于环绕边界的材料，d）施加用于环绕边界的材料，使得围绕待清洁的面形成凹部，液体不能从所述凹部中流出，以及e）用处理液填充所述凹部。

主权项

用于对晶圆的或裸片的表面进行处理的方法，包括以下步骤：a)提供晶圆或裸片，b)将所述晶圆或所述裸片放置在底座上，c)围绕待处理的所述表面提供用于环绕边界的材料，d)施加用于所述环绕边界的所述材料，使得围绕待处理的所述表面形成凹部，液体不能够从所述凹部中流出，以及e)用处理液填充所述凹部，其中所述处理包括清洁，并且其中在步骤d)之后施加用于所述环绕边界的所述材料，使得存在从所述边界的上边缘朝向要清洁的表面下降的斜面。