多晶硅生产过程中物料循环利用的方法和系统

摘要

本发明公开了多晶硅生产过程中物料循环利用的方法和系统，该方法包括：（1）使三氯氢硅和氢气进行还原反应，得到多晶硅和还原尾气；（2）对还原尾气进行除尘处理，获得经过除尘的还原尾气；（3）对经过除尘的还原尾气进行压缩冷却处理，从还原尾气分离第一氯硅烷和压缩后气；（4）对第一氯硅烷进行精馏提纯处理，获得残液以及三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅；（5）将（4）中获得的三氯氢硅返回至（1）进行还原反应，并且将四氯化硅的一部分与硅粉和氢气发生氢化反应，获得第二氯硅烷；（6）使四氯化硅的一部分与二氯二氢硅发生反歧化反应，获得第三氯硅烷；（7）将第二氯硅烷和第三氯硅烷返回至（4）进行精馏提纯处理。

主权项

一种多晶硅生产过程中物料循环利用的方法，其特征在于，包括：(1)使三氯氢硅和氢气进行还原反应，以便得到多晶硅和还原尾气；(2)对所述还原尾气进行除尘处理，以便获得经过除尘的还原尾气；(3)对所述经过除尘的还原尾气进行压缩冷却处理，以便从所述还原尾气分离第一氯硅烷和压缩后气；(4)对所述第一氯硅烷进行精馏提纯处理，以便分别获得残液以及三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅；(5)将步骤(4)中获得的三氯氢硅返回至步骤(1)进行还原反应，并且将所述四氯化硅的一部分与硅粉和氢气发生氢化反应，以便获得第二氯硅烷；(6)使所述四氯化硅的另一部分与所述二氯二氢硅发生反歧化反应，以便获得第三氯硅烷；(7)将所述第二氯硅烷和所述第三氯硅烷返回至步骤(4)进行精馏提纯处理；(8)将所述压缩后气与吸附剂接触，以便从所述压缩后气中分离氢气和吸附氯化氢和氯硅烷的吸附剂；(9)将所述吸附氯化氢和氯硅烷的吸附剂进行脱吸附处理，以便获得脱附再生气，其中，所述脱附再生气包含氯化氢和氯硅烷；(10)将步骤(8)中所获得的氢气返回至步骤(1)进行还原反应；(11)将步骤(4)中所产生的残液与所述脱附再生气接触并发生燃烧反应，以便获得白炭黑和浓盐酸；(12)将所述浓盐酸进行盐酸解析，以便获得氯化氢气体；以及(13)将步骤(12)中所得到的氯化氢气体返回至步骤(5)中进行氢化反应。