一种锗镓碲硫卤玻璃微纳波导结构中红外传感器及其制备方法

摘要

一种锗镓碲硫卤玻璃微纳波导结构中红外传感器及其制备方法，属于传感器技术领域。在基底上从下向上依次是微纳波导结构的锗镓碲硫卤玻璃薄膜和金属纳米颗粒层。依次采用倒置熔融旋涂法、加热气压印法和溶液法制备锗镓碲硫卤玻璃薄膜，在薄膜表面涂覆无序金纳米颗粒，再制备薄膜微纳波导结构，本发明硫卤玻璃微纳结构探测器结构简单，对环境污染小，探测品种多，探测准确性高，制备工艺简单，成本低廉，重复性好，效率高。

主权项

一种锗镓碲硫卤玻璃微纳波导结构中红外传感器的方法，锗镓碲硫卤玻璃微纳波导结构中红外传感器，是在基底上从下向上依次是微纳波导结构的锗镓碲硫卤玻璃薄膜和金属纳米颗粒层；其特征在于，包括以下步骤：1)将锗镓碲块体硫卤玻璃加热至500‑800℃，变为熔融状态；2)利用倒置的匀胶台，将固定在转台上的基底接触步骤1)熔融态的锗镓碲材料上，转速设定为1000‑4000rpm,时间30‑90s,制备成锗镓碲硫卤玻璃薄膜；3)将直径为1‑10nm的金属纳米颗粒，制备成40‑100mg/ml的溶胶，采用旋涂法将金属纳米颗粒溶胶旋涂在步骤2)锗镓碲硫卤玻璃薄膜上，转速设定为1500‑4000rpm,时间30‑60s,制备成金属胶体薄膜；4)将二氧化硅波导结构模板倒扣在步骤3)制备好的多层薄膜上，放入热膜气压印装置，密封，抽真空，然后将基底加热到500‑800℃，使薄膜软化；5)充入氮气，将锗镓碲硫卤玻璃薄膜和二氧化硅波导结构模板上下空间真空度差值达到10²‑10⁴Pa，保持压差3‑8分钟；6)停止加热，充入氮气使薄膜和模板上下密闭空间达到大气压，取出样品。