发明名称 1 METHOD OF ARRANGING ONE-DIMENSIONAL NANOSTRUCTURES AND METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE SAME
摘要 1차원 나노 구조물 배열 방법에서, 일정한 패턴을 갖는 몰드를 복수 개의 1차원 나노 구조물들이 형성된 제1 기판 상으로 제1 기판에 평행한 방향을 따라 이동시켜, 1차원 나노 구조물들을 몰드 상에 접착시킨다. 몰드를 제2 기판 상에 접촉시킴으로써, 몰드 상에 접착된 1차원 나노 구조물들을 제2 기판 상으로 전사시킨다. 이에 따라, 간단하고 효율적으로 1차원 나노 구조물들을 제2 기판 상에 원하는 방향으로 배열하거나 혹은 미리 디자인된 패턴대로 배열할 수 있다.
申请公布号 KR101583517(B1) 申请公布日期 2016.01.20
申请号 KR20080117868 申请日期 2008.11.26
申请人 삼성전자주식회사 发明人 조병옥;이문숙;정석우;야스에 타카히로;전상훈;조은희
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
地址