真空室光学元件升降定位装置

摘要

一种真空室光学元件升降定位装置，其特征在于包括架体、电机、托盘、丝杆及导向机构，架体包括至少两块立板及设于立板上的顶板；电机的动力输出端上连接有一蜗杆，托盘包括至少两个纵梁及设于纵梁之间的横梁，每个纵梁上均设于端面朝上的第一定位球，前述横梁上也设有端面朝上的第二定位球，并且，前述的两个第一定位球和第二定位球处于非直线上并能重复定位光学元件；丝杆竖直地设置于前述托盘的横梁上，上端具有转动配合的旋转螺母，该旋转螺母外壁具有与前述蜗杆转动配合的蜗齿。与现有技术相比，本发明的优点在于：整体结构简单、使用方便，控制精确并容易调整提升距离；具有精确的三点定位机构使得重复定位误差较小。

主权项

一种真空室光学元件升降定位装置，其特征在于包括架体，包括至少两块立板及设于立板上的顶板；电机，设于前述顶板上并具有水平输出的动力输出端，该动力输出端上连接有一蜗杆，托盘，包括至少两个纵梁及设于纵梁之间的横梁，每个纵梁上均设于端面朝上的第一定位球，前述横梁上也设有端面朝上的第二定位球，并且，前述的两个第一定位球和第二定位球处于非直线上并能重复定位光学元件；丝杆，竖直地设置于前述托盘的横梁上，上端具有转动配合的旋转螺母，该旋转螺母外壁具有与前述蜗杆转动配合的蜗齿，所述顶板开设有供丝杆通过的通孔；以及导向机构，对称地布置于前述托盘的两侧。