目标对象处理方法和目标对象处理装置

摘要

本发明公开一种能够利用激光束使目标对象自裂的目标对象处理方法和目标对象处理装置。所述目标对象处理方法包括：从激光束源产生激光束；校正所产生的激光束的发散角；以及通过将所述经校正后的激光束会聚到所述目标对象内部来形成光斑。通过校正所述激光束的所述发散角来调节所述光斑的形状或尺寸，通过所述光斑在所述目标对象内形成相变区域，并且所述目标对象以所述相变区域作为起始点来进行自裂。

主权项

一种能够利用激光束使目标对象自裂的目标对象处理方法，所述目标对象处理方法通过目标对象处理装置执行并且包括：提供所述目标对象处理装置，该目标对象处理装置包括，产生激光束的激光束源、直接从该激光束源接收激光束的柱面凹透镜、校正由该柱面凹透镜导致的该激光束的发散角的柱面凸透镜；从该激光束源产生激光束；通过使所述柱面凹透镜与所述柱面凸透镜在一个方向对准，并使直接从所述激光束源接收的所述激光束穿过柱面凹透镜并使穿过所述柱面凹透镜的所述激光束穿过柱面凸透镜，来在所述一个方向上校正所产生的激光束的发散角；通过将所述经校正后的激光束会聚到所述目标对象内部来沿着预设的切割线在所述目标对象内部形成光斑，并且调节该柱面凹透镜与所述柱面凸透镜之间的距离来在与所述预设切割线垂直的方向上改变光斑的宽度，当所述距离减小时，该宽度减小，并且随着调节后的所述距离改变该光斑的形状；其中，通过校正所述激光束的所述发散角使得改变宽度后的该光斑具有椭圆形状，该椭圆的长轴与预设切割线对齐，从而在长轴方向上在光斑的两个端点处形成应力集中点，破裂从应力集中点开始产生，以及在所述目标对象内围绕所述光斑形成相变区域，从而所述目标对象以所述相变区域作为起始点沿着所述预设切割线来进行自裂。