| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR WAFER PROTECTIVE FILM AND METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
반도체 웨이퍼 보호용 필름은, 기재층(A)과, 상기 기재층(A) 상에 형성된 점착층(C)을 갖고, 상기 기재층(A)이 폴리머를 포함하고, 상기 폴리머의 반 크레벨렌법에 의해 구한 용해 파라미터가 9 이상이다. |
| 申请公布号 |
KR20160003865(A) |
申请公布日期 |
2016.01.11 |
| 申请号 |
KR20157034911 |
申请日期 |
2014.05.22 |
| 申请人 |
MITSUI CHEMICALS TOHCELLO, INC. |
发明人 |
MORIMOTO AKIMITSU;KATAOKA MAKOTO;FUKUMOTO HIDEKI |
| 分类号 |
H01L21/683;B32B27/06;B32B27/30;C09J7/02;C09J133/10 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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