液体处理装置及清洗方法

摘要

明旨在提供一种液体处理装置及清洗方法，可清洗排气通道中排放部周边以外处。

主权项

一种液体处理装置，用来以处理液处理基板，其特征在于包含：基板固持部，水平固持基板；基板旋转机构，使该基板固持部旋转；处理液供给部，用来对由该基板固持部固持之基板供给处理液；引导杯，设置成包围该基板固持部；排放部，用来回收对基板供给后之处理液；排气部，设于该排放部附近，用以使由该基板固持部固持之基板周围的蒙气排气；排气通道形成构件，设置在以处理液对由该基板固持部固持之基板进行处理之区域亦即第1区域，与设有该排放部及该排气部之区域亦即第2区域之间，其中在该排气通道形成构件与该引导杯之间设有间隙，藉由该引导杯及该排气通道形成构件，形成连接该排气部之排气通道；及第1清洗部，对该第2区域侧之该排气通道形成构件供给清洗液。