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发明名称
结合红外线感测功能之多波段光感测器及其制造方法
摘要
结合红外线感测功能之多波段光感测器,包括:基底、红外线感测结构、介电层以及多波段光感测结构。基底包括第一区与第二区。红外线感测结构位于所述基底中,用以感测红外线。介电层位于所述红外线感测结构上。多波段光感测结构包括第一波段光感测器、第二波段光感测器以及第三波段光感测器。第二波段光感测器与第一波段光感测器重叠且由下而上配置于所述第一区上的所述红外线感测结构上方。第三波段光感测器,位于所述第二区的所述介电层中。
申请公布号
TWI517370
申请公布日期
2016.01.11
申请号
TW102132444
申请日期
2013.09.09
申请人
钜晶电子股份有限公司
发明人
张锦维;王瀚伦;洪荣凯
分类号
H01L27/14(2006.01)
主分类号
H01L27/14(2006.01)
代理机构
代理人
詹铭文;叶璟宗
主权项
一种结合红外线感测功能之多波段光感测器,包括:一基底,包括第一区与第二区;一红外线感测结构,位于该基底中,用以感测红外线;一介电层,位于该基底上,覆盖该红外线感测结构;以及一多波段光感测结构,位于该基底上方,包括:一第一波段光感测器,位于该第一区的该介电层上,与该红外线感测结构对应;一第二波段光感测器,位于该第一区的该介电层中,该第二波段光感测器的第一部分与该红外线感测结构以及该第一波段光感测器重叠;以及一第三波段光感测器,位于该第二区的该介电层中。
地址
新竹市新竹科学工业园区力行一路18号
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