发明名称 |
高韧性薄膜和滑动部件 |
摘要 |
本发明提供一种耐磨性出色、尤其具备抗龟裂/剥离性的高韧性薄膜;该高韧性薄膜是由固溶有氮的金属铬和Cr<sub>2</sub>N(氮化铬)混合而成的组成构成的薄膜(2),上述薄膜的含氮量为2.0wt%~8.5wt%,并且上述薄膜的将X射线衍射中的入射角设为θ且2θ在30°~90°的范围内时的IP为3%~40%,其中,IP=Cr<sub>2</sub>N的各衍射峰强度之和/(金属铬的各衍射峰强度之和+Cr<sub>2</sub>N的各衍射峰强度之和)。 |
申请公布号 |
CN104080941B |
申请公布日期 |
2016.01.06 |
申请号 |
CN201280054394.8 |
申请日期 |
2012.03.16 |
申请人 |
帝伯爱尔株式会社 |
发明人 |
川合清行;田中昭二 |
分类号 |
C23C14/06(2006.01)I;F02F5/00(2006.01)I;F16J9/26(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/06(2006.01)I |
代理机构 |
上海音科专利商标代理有限公司 31267 |
代理人 |
张成新 |
主权项 |
一种高韧性薄膜,其是由固溶有氮的金属铬和Cr<sub>2</sub>N混合而成的组成构成的薄膜,所述高韧性薄膜的特征在于,所述薄膜的含氮量为2.0wt%~8.5wt%,并且所述薄膜的将X射线衍射中的入射角设为θ且2θ在30°~90°的范围内时的IP为3%~40%,所述IP=Cr<sub>2</sub>N的各衍射峰强度之和/(金属铬的各衍射峰强度之和+Cr<sub>2</sub>N的各衍射峰强度之和)。 |
地址 |
日本国东京都千代田区丸之内1丁目6番2号 |