发明名称 高韧性薄膜和滑动部件
摘要 本发明提供一种耐磨性出色、尤其具备抗龟裂/剥离性的高韧性薄膜;该高韧性薄膜是由固溶有氮的金属铬和Cr<sub>2</sub>N(氮化铬)混合而成的组成构成的薄膜(2),上述薄膜的含氮量为2.0wt%~8.5wt%,并且上述薄膜的将X射线衍射中的入射角设为θ且2θ在30°~90°的范围内时的IP为3%~40%,其中,IP=Cr<sub>2</sub>N的各衍射峰强度之和/(金属铬的各衍射峰强度之和+Cr<sub>2</sub>N的各衍射峰强度之和)。
申请公布号 CN104080941B 申请公布日期 2016.01.06
申请号 CN201280054394.8 申请日期 2012.03.16
申请人 帝伯爱尔株式会社 发明人 川合清行;田中昭二
分类号 C23C14/06(2006.01)I;F02F5/00(2006.01)I;F16J9/26(2006.01)I 主分类号 C23C14/06(2006.01)I
代理机构 上海音科专利商标代理有限公司 31267 代理人 张成新
主权项 一种高韧性薄膜,其是由固溶有氮的金属铬和Cr<sub>2</sub>N混合而成的组成构成的薄膜,所述高韧性薄膜的特征在于,所述薄膜的含氮量为2.0wt%~8.5wt%,并且所述薄膜的将X射线衍射中的入射角设为θ且2θ在30°~90°的范围内时的IP为3%~40%,所述IP=Cr<sub>2</sub>N的各衍射峰强度之和/(金属铬的各衍射峰强度之和+Cr<sub>2</sub>N的各衍射峰强度之和)。
地址 日本国东京都千代田区丸之内1丁目6番2号