NITROGENATED CARBON ELECTRODE FOR CHALCOGENIDE DEVICE AND METHOD OF MAKING SAME
摘要
<p>칼코게나이드 소자에서 사용되기에 적합한 질소화된 탄소 전극 및 이를 제조하는 방법이 설명된다. 상기 전극은 질소화된 탄소를 포함하고 칼코게나이드 물질과 전기적으로 연결된다. 상기 질소화된 탄소 물질은 물리적 기상 증착 공정에서 질소와 기화된 탄소(vaporized carbon)를 결합함으로써 제조될 수 있다.</p>
