发明名称 导阀结构及质流控制器
摘要 一种导阀结构,其系包括:一主阀,具有一主要流送体以及有一入口及一出口;以及一隔膜,具有一周围、一可动部、以及第一及第二面。一主要流送孔在流送体中位于入口及出口之间。一主阀柱塞附接至及/或设置于隔膜之可动部中,以及在隔膜之可动部处于第一及第二位置时打开及关闭流送孔。导阀也包括一导阀入口,其连接至主要流送体之流径。一导阀出口/孔设置于主阀柱塞内且与其同址。导阀包括一导阀柱塞,其可移动以打开及关闭导阀孔。也描述具有如是导阀结构的相关质流控制器。
申请公布号 TW201600776 申请公布日期 2016.01.01
申请号 TW104105958 申请日期 2015.02.25
申请人 MKS公司 发明人 戈麦斯 理查德
分类号 F16K15/06(2006.01);G05D7/00(2006.01) 主分类号 F16K15/06(2006.01)
代理机构 代理人 林秋琴;陈彦希
主权项 一种导阀总成,其系包括:一主阀,其具有(i)一主要流送体(main flow body),其界定用于一流体的一流径以及有一入口及一出口,(ii)一隔膜,具有一周围、一可动部、及第一及第二面,其中该隔膜之该周围对于该阀体呈固定,以及其中该可动部可操作运动以回应存在于该第一及第二面之间的一压差,(iii)在该流送体中位于该入口及该出口之间的一主要流送孔(main flow orifice),以及(iv)一主阀柱塞,其附接至该隔膜之该可动部以及可操作以分别在该隔膜之该可动部处于第一及第二位置时,打开及关闭该流送孔;一导阀,具有(i)一导阀流送体,其界定一流径以及有一导阀入口连接至该主要流送体之该流径于该主要流送孔之上游,(ii)一导阀出口,其包括设置于该主阀柱塞内的一孔,其中该导阀孔有一横截面面积且经组配成允许流体由该导阀入口流到该主要流送孔,以及(iii)一导阀柱塞,可沿着从一第一位置至一第二位置的一位置范围移动以及可操作以分别在该导阀柱塞处于第一及第二位置时,打开及关闭该导阀流送孔;其中该导阀孔与该主阀柱塞同址(co-located)及整合(integral);以及一导阀螺管,连接至该导阀柱塞以及可操作以控制该导阀柱塞在该位置范围中的位置以回应收到的一命令讯号。
地址 美国