| 发明名称 |
用于低压热处理的光导管结构窗 |
| 摘要 |
明揭露的实施例系关于用于半导体基板的热处理之光导管结构。在一个实施例中，用于热处理腔室的光导管窗结构包括透明板及复数个光导管结构，复数个光导管结构于与透明板耦接的透明材料中形成，复数个光导管结构的各个包含反射表面且具有纵轴，该纵轴系以与透明板的平面有实质垂直关系的方式设置。
|
| 申请公布号 |
TW201601217 |
申请公布日期 |
2016.01.01 |
| 申请号 |
TW104115272 |
申请日期 |
2015.05.13 |
| 申请人 |
应用材料股份有限公司 |
发明人 |
布里哈特保罗;拉尼许乔瑟夫Ｍ;杭特亚伦穆依尔;麦克詹姆士法西斯;劳建邦;桑契斯爱罗安东尼欧Ｃ;叶祉渊;常安中 |
| 分类号 |
H01L21/324(2006.01);H01L21/02(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/324(2006.01) |
| 代理机构 |
|
代理人 |
蔡坤财;李世章 |
| 主权项 |
一种用于一热处理腔室中的光导管窗结构，该光导管窗结构包括：一透明板；及复数个光导管结构，该复数个光导管结构于与该透明板耦接的一透明材料中形成，该复数个光导管结构的各个包含一反射表面以及具有一纵轴，该纵轴以与该透明板的一顶表面界定的一平面有一实质垂直关系的方式设置。
|
| 地址 |
美国 |
