一种多腔涡旋式真空泵

摘要

本发明涉及一种多腔涡旋式真空泵，打破传统设计思路，首次提出了多腔结构设计方案，对突破压缩比、抽速和极限真空度方面的限制提供了有效手段。本发明的并联式多腔涡旋真空泵，其改变了现有的双侧、多头等结构形式，通过并联式的多腔结构实现同时抽气，有效提高了抽速和工作效率，且使泵体结构更加紧凑。本发明的串联式多腔涡旋真空泵，其改变了现有的双级、多涡等结构形式，采用现有双级、多涡等结构形式的真空泵，其对于实现更低的极限真空度和更高的压缩比已难以达到，为此也只能设计具有更多级数的涡旋真空泵，但也导致泄漏率更高，而本发明的泵体结构不但简单紧凑，且同样可以具有更多级数的涡旋真空泵的性能，同时泄漏率也低的多。

主权项

一种多腔涡旋式真空泵，包括电动机、曲轴、涡旋定盘、涡旋动盘、壳体、封盖及风扇，所述电动机的电机轴与曲轴的主轴端通过联轴器相连接，所述风扇固定安装在曲轴的主轴端，所述涡旋动盘套装在曲轴的偏心部，所述涡旋定盘与壳体固定连接，涡旋定盘与封盖的外圆周侧密封连接，其特征在于：在所述涡旋定盘上设置有若干涡旋工作腔，且若干涡旋工作腔均匀分布；在所述涡旋工作腔内设置有定盘涡旋齿，涡旋工作腔正对的涡旋动盘上设置有动盘涡旋齿，定盘涡旋齿与动盘涡旋齿相配合。