| 发明名称 |
METHOD OF MAKING A WORKPIECE AT A UNIFORM POTENTIAL DURING CATHODE SPUTTERING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3423303(A) |
申请公布日期 |
1969.01.21 |
| 申请号 |
USD3423303 |
申请日期 |
1966.07.21 |
| 申请人 |
INTERN. BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
PIETER D. DAVIDSE;LAWRENCE R. KOSTER;WALTER HIMES |
| 分类号 |
H01J37/34;(IPC1-7):A23C15/00 |
主分类号 |
H01J37/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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