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发明名称 微影用浓缩显影液
摘要
申请公布号 TWI514092 申请公布日期 2015.12.21
申请号 TW099145002 申请日期 2010.12.21
申请人 东京应化工业股份有限公司 发明人 熊谷智弥;上野直久;越山淳
分类号 G03F7/32;H01L21/027 主分类号 G03F7/32
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项 一种微影用浓缩显影液，其包含：(A)氢氧化四丁基铵、(B1)水溶性有机溶剂、以及水；其中，上述(A)成分的浓度为20~50质量%，上述(B1)成分为多元醇。
地址 日本
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