回折の制御を可能にするフォトリソグラフィック照明装置

摘要

本発明は、光ビーム光源、集光レンズ（５）、少なくとも１つのマイクロレンズアレイを含む光均一化系（４）であって、集光レンズから上流に配置される均一化系、および光均一化系の物体焦点に配置されたシャッター（３）を含むフォトリソグラフィック照明装置であって、照明器は、シャッター面（３）のフーリエ変換面内に位置決めされたアパーチャ絞りのネットワーク（８）をさらに含むことを特徴とする、フォトリソグラフィック照明装置に関する。本発明は、同様に、そのような照明器を含むフォトリソグラフィック装置に関する。