防止静电聚集的光刻胶涂布机承载盘

摘要

本发明为一种可防止静电聚集的光刻胶涂布机承载盘，包括有一托盘及一与托盘固接的固定座；其中：该托盘与固定座均为导体，且托盘与固定座之间可构成电传导，又固定座是通过一也为导体的转轴与涂布机上的传动机构连结，并受其传动，该传动机构并具有接地设施；由此，前述托盘、固定座、转轴与传动机构的接地设施之间将构成一静电排放路径，当托盘上真空吸附的玻璃基板完成光刻胶涂布，该玻璃基板与托盘表面瞬间脱离时所产生的大量静电将通过前述静电排放路径迅速泄放导引至大地，从而可避免静电聚集对玻璃基板造成伤害。

主权项

1.一种防止静电聚集的光刻胶涂布机承载盘，包含有一托盘和与该托盘固接的固定座，其特征在于：该托盘与固定座均为导体，其中托盘与固定座之间构成电传导，该固定座可受一传动机构传动，并与其接地结构连结，以形成一静电排除路径。