Verfahren der Zuordnung von Korrekturwerten der Durchbiegung eines Substrats relativ zum Koordinatensystem einer Koordinaten-Messmaschine

摘要

Es ist ein Verfahren der Zuordnung von Korrekturwerten der Durchbiegung eines Substrats (2) relativ zum Koordinatensystem (40) einer Koordinaten-Messmaschine (1) offenbart. Bei jedem gerade im jeweilin der Koordinaten-Messmaschine (1) wird automatisch die Lage der mindestens zwei Referenzmarken (32) auf dem Substrathalter (27) relativ zum Korrdinatensystem (40) der Korrdinaten-Messmaschine (1) bestimmt.