发明名称 |
多晶硅尾气净化装置 |
摘要 |
多晶硅尾气的净化装置,属吸附分离工程技术领域。由至少三个轮流实现吸附、升温再生、冷却再生功能的吸附塔连接构成,其特征是在各塔之间还设置有一氢气循环再生回路,该再生回路由连通于各塔间的循环管路和设在管路上的加热器、压缩机和冷却器构成。优点是吸附床层的再生只采用氢气,从根本上避免了其它再生介质的影响,保证了系统的安全性。采用循环式氢气使吸附剂的再生速度更快,再生更彻底,在提高了收率的同时也使氢气纯度更高。可替代现有的多晶硅吸附净化装置使用。 |
申请公布号 |
CN201168536Y |
申请公布日期 |
2008.12.24 |
申请号 |
CN200820062167.0 |
申请日期 |
2008.02.05 |
申请人 |
四川亚连科技有限责任公司 |
发明人 |
钟娅玲;钟雨明;曾启明 |
分类号 |
B01D53/04(2006.01) |
主分类号 |
B01D53/04(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
1、多晶硅尾气的净化装置,由至少三个轮流实现吸附、升温再生、冷却再生功能的吸附塔连接构成,其特征是在各塔之间还设置有一氢气循环再生回路,该再生回路由连通于各塔间的循环管路和设在管路上的加热器、压缩机和冷却器构成。 |
地址 |
610065四川省成都市一环路南一段24号四川大学科技园515亚连科技 |