多功能磁控溅射连续镀膜机

摘要

本发明所公开的是一种多功能磁控溅射连续镀膜机，包括箱体，工件承载车，工件承载车供电装置，溅射靶，抽真空和通气装置，电气控制装置和总控制器，以其箱体具有依次相互连接贯通的在前过渡真空处理室，第一镀膜室，第二镀膜室和在后过渡真空处理室；工件承载车设在所述箱体内且由PLC控制器控制，而可前后往复运动；溅射靶是至少2组每组2个溅射靶，且同样布置在第一镀膜室和第二镀膜室内为主要特征。具有结构合理，生产工效高，能够镀布一层、二层和二层以上的多层复合镀层的特点，是一种特别适合生产槽式太阳能热发电系统集热管内管的一种镀膜设备。

主权项

1、一种多功能磁控溅射连续镀膜机，包括箱体(1)，工件承载车(2)，工件承载车的供电装置(3)，溅射靶(4)，抽真空和通气装置(7)，电气控制装置(5)和总控制器(6)，其特征在于：a、所述箱体(1)，由在前过渡真空处理室(1-1)，第一镀膜室(1-2)，第二镀膜室(1-3)和在后过渡真空处理室(1-4)依次串联组成一整体，且所述各室依次相互贯通；在前过渡真空处理室(1-1)的入口处和在后过渡真空处理室(1-4)的出口处，及其所述各室相邻接处，均设有由开闭启动机构(1-10)驱动开闭的密闭门(1-5、1-6、1-7、1-8、1-9)；b、所述工件承载车(2)，可在所述箱体(1)内前后往复运动，它包括车架(2-1)，设在车架(2-1)底部由包括第一电机(2-2-2)在内的传动装置传动的具有4个行走轮(2-2-1)和2根行走轮轴(2-2-4)的行走机构(2-2)，分别与车架左、右两侧连接的工件安放架(2-3)，与工件安放架(2-3)连接的且沿工件安放架(2-3)上下布置的若干个由工件承插构件(2-4-1)和工件定位构件(2-4-2)对称布置组成且可分别与工件两端装接的工件装接副(2-4)，和由第二电机(2-5-1)通过工件承插构件(2-4-1)的传动件(2-4-1-3)驱动工件装接副(2-4)旋转的传动装置(2-5)；c、所述工件承载车的供电装置(3)，包括与总控制器(6)电连接，且与箱体(1)底部连接的第一导轨(3-1)和第二导轨(3-2)；所述第一导轨(3-1)和第二导轨(3-2)，分别与工件承载车(2)的行走机构(2-2)两侧的行走轮(2-2-1)相对应布置；所述行走机构(2-2)的4个行走轮(2-2-1)，分别通过绝缘轴套(2-6)，与与车架(2-1)固定连接的行走轮轴(2-2-4)转动连接，处于车架(2-1)两侧的2个行走轮(2-2-1)中的1个行走轮(2-2-1′)，分别与2个电刷构件(3-3)电连接，电刷构件(3-3)分别通过倒顺控制开关(J1，J2)和控制开关(J3)，与第一电机(2-2-2)和第二电机(2-5-1)电连接；d、所述溅射靶(4)，是至少2组每组2个溅射靶；所述至少2组每组2个溅射靶(4)，同样设在第一镀膜室(1-2)和第二镀膜室(1-3)内；每1组的2个溅射靶(4)，分别对称布置在第一导轨(3-1)和第二导轨(3-2)的外侧部位，且分开布置并与箱体(1)底壁连接；溅射靶(4)的工作用电，由总控制器(6)提供；e、所述抽真空和通气装置(7)的第一真空泵(7-1)，与在前过渡真空处理室(1-1)管路连接，第二真空泵(7-2)与第一镀膜室(1-2)管路连接；第三真空泵(7-3)与第二镀膜室(1-3)管路连接，第四真空泵(7-4)与在后过渡真空处理室(1-4)管路连接；第一通气管(7-6)与第一镀膜室(1-2)管路连接，第二通气管(7-7)与第二镀膜室(1-3)管路连接，第三通气管(7-8)与在后过渡真空处理室(1-4)管路连接，第四通气管(7-9)与在前过渡真空处理室(1-1)管路连接；j、所述电气控制装置(5)，包括设在工件承载车(2)上的工件承载车运动电控装置(5-1)，和密闭门开闭启动电控装置(5-2)；所述工件承载车运动电控装置(5-1)所包括的PLC可编程序控制器(5-1-1)，分别控制第一电机(2-2-2)的倒顺控制开关(J1、J2)和第二电机(2-5-1)的控制开关(J3)；所述密闭门开闭启动电控装置(5-2)所包括的2个用来开门的第一传感器(5-2-1)，分别设在所述前过渡真空处理室(1-1)、第一镀膜室(1-2)、第二镀膜室(1-3)和在后过渡真气处理室(1-4)两端的顶部，并与所述密闭门(1-5、1-6、1-7、1-8、1-9)保持一定距离，且分别与固设在工件承载车(2)前后两端的启动件(5-2-2)相对应布置；用来关门的第二传感器(5-2-1′)，设在用来固装开闭启动机构(1-10)的机架上，且与设在所述密闭门顶部的启动件(5-2-2′)相对应布置；所述第一传感器(5-2-1)和第二传感器(5-2-1′)，分别通过总控制器(6)，控制与其对应的密闭门开闭启动机构(1-10)的驱动开关(1-10-3)。