| 发明名称 | 衬底运载装置 | ||
| 摘要 | 本申请涉及一种用于衬底的运载装置，其中运载装置至少部分是由热膨胀系数高于衬底热膨胀系数的材料构成。为了避免或者至少减少衬底在边缘处的不均匀涂敷，特别是在溅射过程中，板片在中心与运载装置相连。该板片的热膨胀系数低于其在运载装置固定的位置处运载装置在该区域的热膨胀系数。 | ||
| 申请公布号 | CN1936071B | 申请公布日期 | 2010.05.12 |
| 申请号 | CN200610001445.7 | 申请日期 | 2006.01.17 |
| 申请人 | 应用薄膜有限公司 | 发明人 | T·克卢格;O·海默尔 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人 | 赵蓉民 |
| 主权项 | 用于衬底的运载装置，其中板片(17)在中心被固定在所述运载装置(1)的特定区域，所述运载装置(1)包括两个水平板(5、6)和两个竖直板片(3、4)，所述两个水平板(5、6)与所述运载装置(1)的竖直板片(3、4)的端部连接，并且所述板片(17)在中心与所述水平板(5、6)的中心相连，其中所述板片(17)的每个端部具有指状部(18、19)，其中所述运载装置的至少所述两个水平板是由热膨胀系数高于所述衬底热膨胀系数的材料构成，并且其中所述板片的热膨胀系数低于其被固定的所述区域的热膨胀系数。 | ||
| 地址 | 德国阿尔策瑙 | ||