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发明名称 Vorrichtung zum Versorgen einer Prozesskammer mit fluiden Medien und deren Verwendung
摘要
申请公布号 DE10239083(B4) 申请公布日期 2009.09.03
申请号 DE20021039083 申请日期 2002.08.26
申请人 SCHOTT AG;FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 HILBURGER, ULRICH;MOLCHANOV, ALEXANDER;OSSEGE, STEFAN;MILLER, MICHAEL;FRIEDRICH, JOCHEN;WEHRHAN, GUNTHER
分类号 B01J4/00;B01D9/00;B01J3/02;B01J19/00;B01J19/26;C23C16/00;C30B11/00;C30B29/12 主分类号 B01J4/00
代理机构 代理人
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