气化器、气化组件、成膜装置

摘要

本发明涉及的气化器(300)连接有多个块状的气化组件(310)，各气化组件具有：液态原料的喷出口；使从喷出口喷出的液态原料气化、生成原料气体的气化室(370)；贯通与其它气化组件接合的接合面而形成的液态原料流路(320)；和在液态原料流路的途中连通，将在该流路流通的液态原料导入喷出口的喷雾喷嘴，各气化组件利用其接合面与其它气化组件接合，由此各气化组件的液态原料流路全部连通。据此，在要求从小流量到大流量的各种原料气体的流量的情况下，能够不降低气化效率而根据该原料气体流量简单地变更气化器的构成。

主权项

一种气化器，其特征在于：通过连接多个块状的气化组件而构成，该气化组件使液态原料气化、生成原料气体，所述各气化组件具有：喷出口，喷出所述液体原料；气化室，使从所述喷出口喷出的液态原料气化，生成原料气体；液态原料流路，至少贯通与其它气化组件接合的接合面而形成；和喷出流路，在所述液态原料流路的途中连通，将在所述液态原料流路流通的液态原料导入所述喷出口，所述各气化组件利用其接合面与其它气化组件接合，由此使所述各气化组件的液态原料流路全部连通。