| 主权项 |
一种卡匣支撑结构，包括：二框片，该二框片之间的二侧边分别设有二侧板，形成一可供置入基板之开口；复数相互平行之支撑部，分别设于该二侧板内壁上，相邻二支撑部之间形成可置放基板之沟槽；复数个中央支撑件，系由该二侧板一端向开口方向延伸出，各该中央支撑件相互平行，且相邻二中央支撑件之间形成与该等沟槽相等之另一沟槽。如申请专利范围第1项所述之卡匣支撑结构，其中该基板为一矽晶圆基板。如申请专利范围第1项所述之卡匣支撑结构，其中各该中央支撑件后端二侧边分别以一连接部连接于该二侧板一端之内壁上。如申请专利范围第3项所述之卡匣支撑结构，其中各该中央支撑件后端二侧边之连接部分别连接于该二侧板一端之内壁之支撑部上。如申请专利范围第1项所述之卡匣支撑结构，其中该等中央支撑件后端设有一立杆，令该等中央支撑件相互平行设于该立杆上，该立杆二侧边以数个连接杆连接于该二侧板一端之内壁上。如申请专利范围第1、4或5项所述之卡匣支撑结构，其中该中央支撑件为一中央支撑片。如申请专利范围第1、4或5项所述之卡匣支撑结构，其中该中央支撑件为一中央支撑柱。如申请专利范围第1项所述之卡匣支撑结构，其中该卡匣系以一体成型方式制成。如申请专利范围第4项所述之卡匣支撑结构，其中该支撑部为一支撑片。 |
