低温电浆装置

主权项

一种低温电浆装置，系设置有电浆蚀刻反应炉、支架组、导管组以及冷却器，其中：该电浆蚀刻反应炉系设置有操控电浆蚀刻反应炉运作之控制系统，且电浆蚀刻反应炉内具有腔体，腔体开口处设置有腔门；该支架组设置有复数间隔并排之支撑板，支撑板为设置于腔体内，支撑板为由具温度传导系数较佳之材质所制成；该导管组系设置有二岐管，并于二岐管之间连接有复数导管，导管为固定于支撑板一侧表面，且导管表面为与支撑板形成直接接触；该冷却器系设置有冷却装置以及泵浦，且冷却器为连接于岐管，俾使冷却器藉由泵浦将冷却液循环导入导管组，使导管迅速吸收支撑板之热能，使支撑板降温。