用于真空环境之基板夹持翻转装置

摘要

本创作系一种在真空环境下完成基板双面制程作业之装置。基板在真空腔体中完成单面制程作业后，将基板送入本创作之真空腔体中，经基板夹持翻转装置将基板翻至另一面，再将基板送入所欲制程之真空腔体中进行第二次真空环境下之制程作业，完成在真空环境下进行双面制程作业之需求。