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发明名称
微影装置及元件制造方法
摘要
本发明揭示一种浸润式微影装置之基板平台,其包含一被组态成可收集液体之屏障件。该屏障件包围该基板且与该基板相隔开。以此方式,从液体供应系统溢流出来之任何液体可被收集,以降低
申请公布号
TWI427427
申请公布日期
2014.02.21
申请号
TW097145513
申请日期
2005.04.04
申请人
ASML荷兰公司 荷兰
发明人
阿卡斯 尤米希 可莱希灿可;乔纳斯 乔可巴斯 麦修斯 巴赛曼;史乔德 尼可拉斯 蓝伯特斯 当德斯;克里斯汀 亚历山大 胡根登;汉斯 强森;乔翁 乔纳斯 苏菲亚 马莉亚 马汀斯;乔纳斯 凯瑟尼斯 哈伯特斯 马肯斯;费力克斯 卡德弗莱 彼得 彼得斯;包伯 史崔弗科;法兰西斯克斯 乔纳斯 赫曼 马里亚 泰乌尼森;贺马 凡 圣诞
分类号
G03F7/20;H01L21/027
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址
荷兰
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