具有烧蚀的材料的抽取的激光烧蚀

摘要

一种技术包括：经由投影透镜（12）使用激光束来烧蚀目标表面（2），以作为限定一个或更多个电子设备的一个或更多个元件的过程的一部分，其中在经由抽取装置进口（6）抽取从目标表面烧蚀的材料的同时执行该烧蚀，该抽取装置进口至少具有在所述目标表面（2）与所述投影透镜（12）之间的水平处以及在所述目标表面上方的烧蚀的材料的羽流的水平处的部分。

主权项

一种具有烧蚀的材料的抽取的激光烧蚀的方法，包括：经由投影透镜使用激光束来烧蚀目标表面，以作为限定一个或更多个电子设备的一个或更多个元件的过程的一部分，其中在经由抽取装置进口抽取从目标表面烧蚀的材料的同时执行该烧蚀，该抽取装置进口至少具有在所述目标表面与所述投影透镜之间的水平处以及在所述目标表面上方的烧蚀的材料的羽流的水平处的部分，其中所述抽取装置进口在与所述目标表面垂直的方向上延伸到所述羽流的高度的至少1.6倍大的高度。