一种真空喷涂旋转靶材的行走机构

摘要

本实用新型公开了一种真空喷涂旋转靶材的行走机构，包括真空靶材喷涂罐体，所述的真空靶材喷涂罐体的底部设有总安装底座，总安装底座上部设有安装驱动电机的安装座，驱动电机安装在安装座的顶端，安装座的两侧设有滑轨支撑架，滑轨支撑架的上部设有滑轨，滑轨通过上部的滑槽连接移动板，移动板的顶部设有靶材支架体，移动板的两边侧与真空靶材喷涂罐体内壁之间设有隔离板，安装座的两侧设有密封板，移动板的上侧还设有刮板，刮板通过转轴固定在真空靶材喷涂罐体的侧壁上，移动板的底部中间设有与驱动电机输出轴相咬合的齿条，本实用新型不易受真空腔体内大量粉尘的影响而较目前的行走机构稳定性大大提高，且还可以及时清理真空腔体内的残余粉尘，保证生产质量。

主权项

一种真空喷涂旋转靶材的行走机构，包括真空靶材喷涂罐体(1)，所述的真空靶材喷涂罐体(1)的底部设有总安装底座(2)，总安装底座(2)上部设有安装驱动电机(13)的安装座(3)，驱动电机(13)安装在安装座(3)的顶端，安装座(3)的两侧设有滑轨支撑架(4)，滑轨支撑架(4)的上部设有滑轨(5)，滑轨(5)通过上部的滑槽连接移动板(6)，移动板(6)的顶部设有靶材支架体(7)，移动板(6)的两边侧与真空靶材喷涂罐体(1)内壁之间设有隔离板(8)，安装座(3)的两侧设有密封板(9)，移动板(6)的上侧还设有刮板(10)，刮板(10)通过转轴(11)固定在真空靶材喷涂罐体(1)的侧壁上，移动板(6)的底部中间设有与驱动电机(13)输出轴相咬合的齿条(14)。