发明名称 磁对准系统及其对准方法
摘要
申请公布号 TWI513173 申请公布日期 2015.12.11
申请号 TW103102435 申请日期 2014.01.23
申请人 上海微电子装备有限公司 发明人 张霖;张晓文;郭琳;陈军;张志钢
分类号 H02P25/06 主分类号 H02P25/06
代理机构 代理人 赖经臣 台北市松山区南京东路3段346号11楼;宿希成 台北市松山区南京东路3段346号11楼
主权项 一种磁对准系统,包括:磁钢阵列,用于产生一磁场;电机转子,设置于该磁钢阵列上方,该电机转子包括四个呈矩阵排列的线圈组,每两个相邻的线圈组中的一个沿第一方向排列,另一个沿垂直于第一方向的第二方向排列;固定工件,关于该磁钢阵列具有一固定的相对位置;以及力感测器单元,连接于该电机转子与该固定工件之间,该力感测器单元用于当该电机转子的某一个线圈组中流入一三相电流时,测量该线圈组在该磁场的作用下产生的出力值;其中,每个线圈组包括多个平行设置的三相线圈;其中,该磁钢阵列包括多个磁体以矩阵方式沿第三和第四方向排列,其中,第三方向和第四方向垂直,且该第三方向与该第一方向成45度夹角,第四方向与该第二方向成45度夹角;其中,该力感测器单元包括一个三维以上的力感测器或三个一维力感测器。
地址 中国