发明名称 半導体装置の製造方法
摘要 本技術は、第1素子を有する第1基板と、第2素子を有する第2基板との素子形成面同士を対向させて張り合わせることと、第2素子を有する第2基板の少なくとも端部に保護膜を形成することと、第1基板を薄肉化することとを含む。
申请公布号 JPWO2013108657(A1) 申请公布日期 2015.12.10
申请号 JP20130554264 申请日期 2013.01.08
申请人 ソニー株式会社 发明人 藤井 宣年;青柳 健一;萩本 賢哉;岩元 勇人
分类号 H01L27/146;H01L25/065;H01L25/07;H01L25/18;H01L27/00;H01L27/14 主分类号 H01L27/146
代理机构 代理人
主权项
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