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发明名称
半導体装置の製造方法
摘要
本技術は、第1素子を有する第1基板と、第2素子を有する第2基板との素子形成面同士を対向させて張り合わせることと、第2素子を有する第2基板の少なくとも端部に保護膜を形成することと、第1基板を薄肉化することとを含む。
申请公布号
JPWO2013108657(A1)
申请公布日期
2015.12.10
申请号
JP20130554264
申请日期
2013.01.08
申请人
ソニー株式会社
发明人
藤井 宣年;青柳 健一;萩本 賢哉;岩元 勇人
分类号
H01L27/146;H01L25/065;H01L25/07;H01L25/18;H01L27/00;H01L27/14
主分类号
H01L27/146
代理机构
代理人
主权项
地址
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