10^-9Pa量级的真空分压力校准装置及校准系数获取方法

摘要

本发明提供一种10^-9Pa量级的真空分压力校准装置，其包括：微调阀、气源、配样室、八个阀门、取样室、辅助膨胀室、复合真空计、分离真空计、小孔、校准室、活塞压力计、进样室和被校分压力质谱计；外围设备为抽气系统。本发明利用了气体膨胀法，将较高的前级压力通过气体膨胀和小孔衰减后再引入到校准室中，延伸了分压力质谱计的校准下限，解决了10^-9Pa量级的分压力质谱计的校准。另外，用高精度的活塞压力计作为前级压力参考标准，替换了现有技术中的磁悬浮转子真空计，减小了测量不确定度，从而提高了校准精度。

主权项

一种10^‑9Pa量级的真空分压力校准装置，其特征在于，包括：微调阀（1）、气源（2）、配样室（3）、八个阀门（4、6、7、10、12、14、15、19）、取样室（5）、辅助膨胀室（8）、复合真空计（9）、小孔（11）、校准室（13）、活塞压力计（16）、进样室（17）和被校分压力质谱计（18）、分离真空计（20）；外围设备为抽气系统；配样室（3）通过微调阀（1）与气源（2）连接，通过第一阀门（4）与取样室（5）连接；取样室（5）通过第二阀门（6）与进样室（17）连接，通过第七阀门（15）与活塞压力计（16）连接；进样室（17）通过第三阀门（7）与辅助膨胀室（8）连接，通过第四阀门（10）与复合真空计（9）连接，且连接小孔（11）后通过第五阀门（12）与校准室（13）连接；校准室（13）通过第八阀门（19）与被校分压力质谱计（18）连接，通过第六阀门（14）与分离真空计（20）连接；且真空分压力校准装置的管路与抽气系统连接。