| 发明名称 | 一种金属蒸发设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种金属蒸发设备，包括密封舱，所述密封舱的内底部中间安装有蒸发台，内底部外围安装有加热灯丝，内顶部安装有公转架；所述公转架向外放射安装有自转架，自转架的活动端连接有行星盘，行星盘上设有多个圆形通孔，圆形通孔顶部安装有盖板，圆形通孔底部安装有硅片。具有蒸发镀膜面积大，材料利用率高，对器件的损伤较小的特点。 | ||
| 申请公布号 | CN204857665U | 申请公布日期 | 2015.12.09 |
| 申请号 | CN201520528517.8 | 申请日期 | 2015.07.20 |
| 申请人 | 青岛佳恩半导体有限公司 | 发明人 | 王丕龙;王新强;李向坤 |
| 分类号 | H01L21/203(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/203(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人 | 龚燮英 |
| 主权项 | 一种金属蒸发设备，包括密封舱，其特征在于：所述密封舱的内底部中间安装有蒸发台，内底部外围安装有加热灯丝，内顶部安装有公转架；所述公转架向外放射安装有自转架，自转架的活动端连接有行星盘，行星盘上设有多个圆形通孔，圆形通孔顶部安装有盖板，圆形通孔底部安装有硅片。 | ||
| 地址 | 266000 山东省青岛市城阳区长城南路6号3号楼622号 | ||