| 摘要 |
<p>본 발명은 기판처리시스템의 게이트밸브어셈블리에 관한 것으로, 기판이 입출되는 기판입출구가 각각 형성된 제1챔버와 제2챔버 사이에 배치되는 밸브챔버와; 상기 밸브챔버 내에 구비되며 상기 제1챔버와 상기 제2챔버의 기판입출구를 각각 개폐하는 한 쌍의 게이트밸브와; 상기 밸브챔버 내에 회동가능하게 구비되며 상기 한 쌍의 게이트밸브가 상기 기판입출구를 폐쇄하는 패쇄위치와 상기 폐쇄위치로부터 회동되어 상기 기판입출구를 개방하는 개방위치 간을 이동하도록 상기 한 쌍의 게이트밸브를 지지하는 게이트밸브지지부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여 신속하게 기판입출구를 개폐할 수 있다.</p> |
